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長(zhǎng)方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門(mén)精密技術(shù)的藝術(shù)，各種鍍膜、檢測(cè)分析、量測(cè)、及其他實(shí)驗(yàn)皆可根據(jù)需求整合在一個(gè)或多個(gè)的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接，Htc日揚(yáng)真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗(yàn)及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求對(duì)超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計(jì)，能滿(mǎn)足配合客戶(hù)實(shí)驗(yàn)上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開(kāi)進(jìn)樣門(mén)，鉸鏈機(jī)構(gòu)，移動(dòng)靈活，快開(kāi)門(mén)密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶(hù)需求定制；

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進(jìn)入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；

以下是沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)長(zhǎng)方形一體成型腔室產(chǎn)品，歡迎新老客戶(hù)蒞臨。

真空腔體——焊接工藝介紹

目前，超高真空容器普遍采用不銹鋼。真空腔體應(yīng)該講，不銹鋼的可焊性和焊接工藝性是良好的，為什么要提出超高真空容器對(duì)焊縫的要求呢?其原因是超高真空容器要求泄漏率很低，也帶來(lái)對(duì)焊縫密封性的苛刻要求，微小的泄漏難檢、難補(bǔ)、難消除。實(shí)踐證明，非超高真空容器通常采用壓力檢漏法不能滿(mǎn)足超高真空容器漏率的要求，亦即在壓力檢漏檢不出漏點(diǎn)的情況下，采用氦質(zhì)譜檢漏，仍可能發(fā)現(xiàn)漏孔，達(dá)不到漏率要求。因此對(duì)超高真空容器來(lái)講，須采用高靈敏度的氦質(zhì)譜進(jìn)行檢漏。

為保證焊縫滿(mǎn)足超高真空容器漏率的要求，針對(duì)不銹鋼，焊接工藝上主要應(yīng)解決兩個(gè)問(wèn)題，

一是防止熱裂紋的產(chǎn)生，其產(chǎn)生機(jī)理是在焊縫一次結(jié)晶中，低熔點(diǎn)共晶物聚積在焊縫中心線(xiàn)處，在熱應(yīng)力的作用下形成。同時(shí)真空腔體應(yīng)防止碳化物形成，造成脆硬組織裂紋。

二是盡可能減少焊接缺陷的產(chǎn)生。

真空腔體的優(yōu)勢(shì)及特性

——按照客戶(hù)要求，加工訂制；

——專(zhuān)業(yè)出圖設(shè)計(jì)；

——可配套固定真空機(jī)組系統(tǒng)；

——耐高溫、耐腐蝕；

——高質(zhì)量、高精度；

加工工藝，完全采用真空焊接技術(shù)拼裝焊接；

先進(jìn)的真空撿漏設(shè)備，更加保證產(chǎn)品的優(yōu)越性；

超高真空主要應(yīng)用在離子鍍膜、高真空半導(dǎo)體設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等對(duì)環(huán)境要求極高的真空領(lǐng)域。

真空腔體烘烤注意事項(xiàng)

真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時(shí)，開(kāi)始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間烘烤。烘烤過(guò)程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤，這時(shí)的真空腔體只靠分子泵和前級(jí)泵來(lái)排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會(huì)迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的延長(zhǎng)而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí)，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵，加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)迅速好轉(zhuǎn)。

新完成的腔體一次烘烤時(shí)，一般需要一周時(shí)間，重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了更準(zhǔn)確地測(cè)量真空度，停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時(shí)間充足的話(huà)，烘烤后真空度可提升幾個(gè)數(shù)量級(jí)。