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長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據(jù)需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認方案后5到6周；

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品，歡迎新老客戶蒞臨。

真空腔體——焊接工藝介紹

目前，超高真空容器普遍采用不銹鋼。真空腔體應該講，不銹鋼的可焊性和焊接工藝性是良好的，為什么要提出超高真空容器對焊縫的要求呢?其原因是超高真空容器要求泄漏率很低，也帶來對焊縫密封性的苛刻要求，微小的泄漏難檢、難補、難消除。實踐證明，非超高真空容器通常采用壓力檢漏法不能滿足超高真空容器漏率的要求，亦即在壓力檢漏檢不出漏點的情況下，采用氦質(zhì)譜檢漏，仍可能發(fā)現(xiàn)漏孔，達不到漏率要求。因此對超高真空容器來講，須采用高靈敏度的氦質(zhì)譜進行檢漏。

為保證焊縫滿足超高真空容器漏率的要求，針對不銹鋼，焊接工藝上主要應解決兩個問題，

一是防止熱裂紋的產(chǎn)生，其產(chǎn)生機理是在焊縫一次結晶中，低熔點共晶物聚積在焊縫中心線處，在熱應力的作用下形成。同時真空腔體應防止碳化物形成，造成脆硬組織裂紋。

二是盡可能減少焊接缺陷的產(chǎn)生。

真空腔體的優(yōu)勢及特性

——按照客戶要求，加工訂制；

——專業(yè)出圖設計；

——可配套固定真空機組系統(tǒng)；

——耐高溫、耐腐蝕；

——高質(zhì)量、高精度；

加工工藝，完全采用真空焊接技術拼裝焊接；

先進的真空撿漏設備，更加保證產(chǎn)品的優(yōu)越性；

超高真空主要應用在離子鍍膜、高真空半導體設備、實驗室設備等對環(huán)境要求極高的真空領域。

真空腔體烘烤注意事項

真空腔體烘烤時的真空度變化結果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵，同時也給離子泵通電進行加熱烘烤，這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉。停止烘烤時，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動離子泵和鈦升華泵，加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會迅速好轉。

新完成的腔體一次烘烤時，一般需要一周時間，重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了更準確地測量真空度，停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話，烘烤后真空度可提升幾個數(shù)量級。