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氦質(zhì)譜檢漏原理

深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術(shù)，氦檢漏設(shè)備，它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3/s，可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，氦檢漏設(shè)備價(jià)格，利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn)，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進(jìn)入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設(shè)備保養(yǎng)，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào)，這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量，電流信號(hào)經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準(zhǔn)，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

氦檢漏設(shè)備工作原理

以下內(nèi)容由深圳銳誠真空為您提供，希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。

根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。

技術(shù)參數(shù)

真空箱數(shù)量: 根據(jù)實(shí)際需要

真空箱容積: 根據(jù)實(shí)際需要

示漏氦氣壓力:根據(jù)實(shí)際需要

耐壓試驗(yàn)壓力:根據(jù)實(shí)際需要

檢漏生產(chǎn)節(jié)拍:根據(jù)實(shí)際需要

氦氣回收率: ≧98%

基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接，在真空箱門關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測、工件強(qiáng)度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時(shí)，達(dá)不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動(dòng)報(bào)警提示。

5.多種計(jì)量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)更新，直接輸出生成Excel表格。

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