【廣告】
氦質(zhì)譜檢漏原理
深圳銳誠(chéng)真空專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無(wú)色、無(wú)味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器,用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù),氦檢漏設(shè)備,它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14~10-15Pam3/s,可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機(jī)械泵之間,氦檢漏設(shè)備價(jià)格,利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn),氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性,偏轉(zhuǎn)半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏設(shè)備保養(yǎng),氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào),這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量,電流信號(hào)經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率,通過泄漏率大小來(lái)確定該位置泄漏程度的大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準(zhǔn),可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣;
②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除;
③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;
⑤氦氣無(wú)毒,不凝結(jié),極難容于水。
氦檢漏設(shè)備工作原理
以下內(nèi)容由深圳銳誠(chéng)真空為您提供,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。
根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理,用氦氣作為示蹤氣體,在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件,然后通過氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。
技術(shù)參數(shù)
真空箱數(shù)量: 根據(jù)實(shí)際需要
真空箱容積: 根據(jù)實(shí)際需要
示漏氦氣壓力:根據(jù)實(shí)際需要
耐壓試驗(yàn)壓力:根據(jù)實(shí)際需要
檢漏生產(chǎn)節(jié)拍:根據(jù)實(shí)際需要
氦氣回收率: ≧98%
基本功能
操作者把工件放在真空箱內(nèi),將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接,在真空箱門關(guān)閉后,系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測(cè)、工件強(qiáng)度檢測(cè)、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過程,生產(chǎn)節(jié)拍快,檢漏精度高。
氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測(cè)量方法滿足多種需求
氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。秀長(zhǎng)的體積,優(yōu)越的性能,適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):
1.檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短,可以達(dá)到2s以內(nèi);
2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.多種大漏保護(hù)模式,充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊;
4.大漏檢測(cè)功能:可通過預(yù)設(shè)壓力,抽空時(shí),達(dá)不到預(yù)設(shè)值,檢漏儀自動(dòng)報(bào)警提示。
5.多種計(jì)量單位選擇,檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)更新,直接輸出生成Excel表格。