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電池片的制作工藝

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PECVD

PE 目的

在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，減少反射，氫原子攙雜在氮化硅中附加了氫的鈍化作用。

其化學(xué)反應(yīng)可以簡(jiǎn)單寫成 ： SiH 4 NH 3 =SiN:H 3H 2 。

基本 原理

PECVD 技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。 PECVD 方法區(qū)別于其它 CVD 方法的特點(diǎn)在于等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，因而顯著降低 CVD 薄膜沉積的溫度范圍，使得原來(lái)需要在高溫下才能進(jìn)行的 CVD 過程得以在低溫下實(shí)現(xiàn)。  

基本特征

1. 薄膜沉積工藝的低溫化（ < 450 ℃ ）。

2. 節(jié)省能源，降低成本。

3. 提高產(chǎn)能。

4. 減少了高溫導(dǎo)致的硅片中少子壽命衰減。

擴(kuò)散方式

PE 設(shè)備有兩類：平板式和管式。

按反應(yīng)方式分為：直接式（島津）和間接式（ Roth ＆ Rau  ）。

直接式：基片位于一個(gè)電極上，直接接觸等離子體。  

間接式：基片不接觸激發(fā)電極。 在微波激發(fā)等離子的設(shè)備里，等離子產(chǎn)生在反應(yīng)腔之外，然后由石英管導(dǎo)入反應(yīng)腔中。在這種設(shè)備里微波只激發(fā) NH3 ，而 SiH4 直接進(jìn)入反應(yīng)腔。間接 PECVD 的沉積速率比直接的要高很多，這對(duì)大規(guī)模生產(chǎn)尤其重要。

影響因素

1. 印刷壓力的影響

在印刷過程中刮膠要對(duì)絲網(wǎng)保持一定的壓力，且這個(gè)力必須是適當(dāng)?shù)摹Ｓ∷毫^大，易使網(wǎng)版、刮膠使用壽命降低，使絲網(wǎng)變形，導(dǎo)致印刷圖形失真。印刷壓力過小，易使?jié){料殘留在網(wǎng)孔中，造成虛印和粘網(wǎng)。在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)加大印刷壓力，透墨量會(huì)減?。{料濕重減?。瑬啪€高度下降，寬度上升。

2. 印刷速度的影響

印刷速度的設(shè)定必須兼顧產(chǎn)量和印刷質(zhì)量。對(duì)印刷質(zhì)量而言，印刷速度過快，漿料進(jìn)入網(wǎng)孔的時(shí)間就短，對(duì)網(wǎng)孔的填充性變差，印刷出的柵線平整性受損，易產(chǎn)生葫蘆狀柵線。印刷速度上升，柵線線高上升，線寬下降。印刷速度變慢，下墨量增加，濕重上升。

3. 絲網(wǎng)間隙的影響

在其他條件一定的情況下，絲網(wǎng)間隙與濕重大致有如右圖的關(guān)系：兩者幾乎呈比例上升，之后絲網(wǎng)間隙加大，濕重降低，后突然變?yōu)榱?。絲網(wǎng)印刷時(shí)使用的是曲線的前半段（即呈比例上升段）。由此可知，絲網(wǎng)間隙加大，下墨量多，濕重增大。絲網(wǎng)間隙過大，易使印刷圖形失真；過小，容易粘網(wǎng)。 刮膠硬度的影響 刮膠材料一般為聚胺脂或氟化橡膠，硬度 60 -90A 。刮膠硬度越大，印刷的圖形越準(zhǔn)確，原圖的重現(xiàn)性越好。因此，正面柵線的印刷就需要選用硬度較高刮膠。刮膠硬度小，其他參數(shù)不變的情況下濕重就大，線高增加，線寬變大。

太陽(yáng)電池片標(biāo)準(zhǔn)

太陽(yáng)電池片標(biāo)準(zhǔn)

4.1.6 外觀

電池的顏色應(yīng)均勻一致，無(wú)明顯的色差、水痕、手印等外觀缺陷。

電池的崩邊、鈍性缺口等外形缺損的尺寸要求：長(zhǎng)度不大于 1.5mm ，由邊緣向中心的深度不大于0.5mm ，同一片電池上正面出現(xiàn)此類外形缺損數(shù)量不超過三處。同時(shí)不允許電池上有肉眼可見的裂紋以及 V 形缺口。

4.2 力學(xué)性能

4.2.1   彎曲變形

一般情況下，電池的彎曲變形用電池的彎曲度來(lái)衡量。不同尺寸規(guī)格的電池允許的大彎曲度應(yīng)在產(chǎn)品詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定。

4.2.2 電極附著強(qiáng)度或電極 / 焊點(diǎn)的抗拉強(qiáng)度

電極附著應(yīng)牢固，電極附著強(qiáng)度或電極 / 焊點(diǎn)的抗拉強(qiáng)度不小于1.22N/mm. 。

4.3 電性能

4.3.1   電性能參數(shù)的溫度系數(shù)

應(yīng)按照電池使用要求的溫度范圍，測(cè)量其電性能參數(shù)的溫度系數(shù)。

4.3.2   電性能參數(shù)

電池電性能參數(shù)（包括低輻照度性能）應(yīng)在產(chǎn)品詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定。

4.4 熱循環(huán)試驗(yàn)

經(jīng) -40 °～ 85 °溫度循環(huán) 5 次后，電池的外觀，力學(xué)性能符合本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求，電池的轉(zhuǎn)換效率衰減不超過 3% 。