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真空泵真空設備檢漏維修
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。在國外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高xiao率,降低能耗。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
真空檢漏設備廠家真空檢漏設備廠家
檢漏儀原理圖中14 檢漏口的位置通常可以連接在圖1 中虛線A 或B 的位置,因為這兩處均能達到檢漏儀檢漏口小于1000 帕 的工作要求,對于粗檢兩個位置都能夠達到要求,但對于系統(tǒng)的小漏,位置的選擇則相當關鍵,對于核級鋯鑄錠的生產來說,當漏率介于0.65~1.5帕/min 時更要注意位置的選擇。主要原因是由于:該型號的檢漏儀分為檢測大漏、中漏和微漏,當檢漏口14的壓強100 帕<Pa<1000 Pa 時檢漏儀V1 和V2打開,氦氣部分分子沿分子泵排氣口逆流進入質譜室,因此只有當氦氣分子較多時才能被檢測到;當壓強10 帕<Pa<100 Pa 時,檢漏儀關閉V2,打開V3,V1 閥,此時氦氣分子較多沿4 處分子泵進氣口1 逆流進入質譜室中,可以檢測到系統(tǒng)的中漏;當Pa <10帕 時,檢漏儀關閉V3,打來V4、V1 閥,此時氦氣分子大部分沿15 處分子泵進氣口2 逆流進入質譜室中,達到檢測微漏的效果。d需要采用隔層內部噴氦打壓的方式,將電弧爐水排上所有的出水閥門全部關閉并關閉除爐室進水閥外的其他進水閥門,在水排進口對爐室隔層進行噴氦打壓,將壓力充到0。
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真空泵
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。中國真空設備制造產業(yè)發(fā)展與當前經(jīng)濟熱點問題關聯(lián)度如何……諸如此類,都是真空設備制造產業(yè)發(fā)展必須面對和解決的問題--中國真空設備制造產業(yè)發(fā)展已到了岔口。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
干泵國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。2)抽氣量:無油渦旋真空泵由于內部結構問題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
水環(huán)泵水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)yao及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最jia工作真空度。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應用日益增多。如圖:在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時,水環(huán)的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入 深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。
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深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。
測量方式
熱偶真空計利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
電離真空計由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
復合真空計由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。冷陰極電離計陽極筒的兩端有一對陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內形成潘寧放電產生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
電阻真空計利用加熱元件的電阻與溫度有關,元件的溫度又與氣體傳導有關的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計。
麥克勞真空計也成為壓縮式真空計,將待測的氣體用或油縮到一ji小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種jue對真空計。
電容薄膜真空計這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。電容薄膜真空計將三種不同的規(guī)管綜合在個小型經(jīng)濟的規(guī)管中,測量過程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動態(tài)響應快、測量結果與氣體成分無關以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點,因而越來越受到人們的重視。以它取代水yin壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。
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