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對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范）都是這樣規(guī)定的垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。在這些紊流中，由于風(fēng)速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

福州同盛凈化彩鋼板有限公司。有的工程中由于加濕的帶水問(wèn)題沒(méi)有處理好，結(jié)果后面的中效過(guò)濾器甚至效過(guò)濾器都被攜帶的水打濕了。類(lèi)似于生物安全類(lèi)實(shí)驗(yàn)室就不可以做回風(fēng)系統(tǒng)，或者說(shuō)要以全排式潔凈室的做法來(lái)施工。對(duì)于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問(wèn)題，要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風(fēng)機(jī)段內(nèi)，還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機(jī)上，造成電機(jī)短路斷電。福州凈化室。