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檢驗(yàn)室應(yīng)有足夠空間,以安置試驗(yàn)臺(tái)、儀器設(shè)備等,并進(jìn)行物理、化學(xué)、官能及(或)微生物等試驗(yàn)工作。微生物檢驗(yàn)場(chǎng)所應(yīng)與其他場(chǎng)所適當(dāng)區(qū)隔,如未設(shè)置無菌操作箱者須有效隔離,惟易腐bai即食性成品工廠之微生物檢驗(yàn)室應(yīng)有效隔離。在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠房,其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。如有設(shè)置病原菌操作場(chǎng)所應(yīng)嚴(yán)格有效隔離。
廠房區(qū)隔
凡使用性質(zhì)不同之場(chǎng)所(如原料倉庫、材料倉庫、原料處理場(chǎng)等)應(yīng)個(gè)別設(shè)置或加以有效區(qū)隔。
凡清潔度區(qū)分不同(如清潔、準(zhǔn)清潔及一般作業(yè)區(qū))之場(chǎng)所,應(yīng)加以有效隔離
平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回feng,chen埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
每半年用塵埃粒子計(jì)數(shù)掃描巡檢法進(jìn)行一次過濾器完整性測(cè)試,每年用氣溶膠法進(jìn)行一次過濾器完整性測(cè)試;B級(jí)、C級(jí)區(qū)每年用氣溶膠法進(jìn)行一次過濾器完整性測(cè)試,D級(jí)區(qū)每年用塵埃粒子計(jì)數(shù)掃描巡檢法進(jìn)行一次過濾器完整性測(cè)試。新更換高xiao過濾器要進(jìn)行完整性測(cè)試。懸浮粒子檢測(cè)結(jié)果異常,調(diào)查懷疑高xiao泄漏的可進(jìn)行完整性測(cè)試。無塵車間可以分為以下幾個(gè)級(jí)別:1級(jí)這個(gè)級(jí)別的潔凈室主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的要求為亞微米。
標(biāo)準(zhǔn):氣溶膠法泄漏率應(yīng)≤0.03%。(氣溶膠法需外協(xié)檢測(cè))
空氣懸浮粒子 灌裝間區(qū)每批一次在線監(jiān)測(cè);B級(jí)區(qū)每個(gè)月進(jìn)行一次動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè),所有房間每3個(gè)月進(jìn)行一次靜態(tài)監(jiān)測(cè);C級(jí)區(qū)每2個(gè)月進(jìn)行一次監(jiān)測(cè),動(dòng)、靜態(tài)不限;D級(jí)區(qū)每3個(gè)月進(jìn)行一次靜態(tài)監(jiān)測(cè),特殊情況下可進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。