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空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端,空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。
為什么要做無塵車間?
無塵車間即無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。