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高純氣體 高純氬氣
純度(V/V):99.999%
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) :國標(biāo)
簡要介紹 :
氬氣(Ar)是一種惰性氣體, 它在地球大氣層中占了0.93%的比例。
氬無色、無嗅、無味、無l毒?,F(xiàn)在還未知有任何化合物。比重為1.38, 比空氣重25%。在大氣壓力下,在華氏302度(攝氏186度)時,變?yōu)橐后w。氬具有無腐蝕性,不燃燒,低導(dǎo)熱性、以及微溶于水的特點。
惰性氣體包括氬、氦、氪、氙,有時也包括氡。它們非常穩(wěn)定,發(fā)生反應(yīng)的機率很低。
本底值影響l大的是分析高純氣中氮和氧(空氣中的主要成分)。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響,其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。實際上,由于氧化鎂用途較廣,供貨商都是根據(jù)用戶要求進行生產(chǎn),包括要求的雜質(zhì)含量、特定物理指標(biāo)等。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會漏入空氣。我們只能控制一定漏量,使之不影響分析。也就說“漏氣”是絕l對的,“不漏”只是相對的。例如使用高純氬氣分析儀時,為保證分析純氣純度必須優(yōu)于6個“9”。我們將載氣凈化到7個“9”以上,留出一定“空間”,使“漏氣”后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機材料作密封(因為空氣中氮、氧能穿透有機材料滲透進入系統(tǒng)中),包括各種橡膠,聚四氟乙烯等[27];另外,還要盡量少用卡套。
高純度氣體的管道輸送,將高純氣體送至用氣點,并保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。助燃?xì)怏w,具有助燃能力,但自身不燃燒,存在擴大火災(zāi)的危險性,如氧氣等。高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術(shù),對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10 (ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10 (ppb級),甚至10一~2(ppt級),塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。