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Parylene的真空氣相沉積工藝
Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備的Parylene涂層介電常數也低,還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖,進行再金屬化,因此Parylene不僅可用作防護材料,而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用,經Parylene涂敷過的集成電路芯片,其25um細直徑連接線,連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有,5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓,又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料,化學惰性和阻隔性能也好,因此在微電子機械系統(tǒng)中,除了作電介質材料外,還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。
Parylene材料本身有很優(yōu)異的物理機械性能和電性能
Parylene材料本身有很優(yōu)異的物理機械性能和電性能,不僅機械強度好,摩擦系數低,水汽透過率低,而且介電強度高,絕緣電阻高;介質損耗和介電常數也比較低,作為防護涂層它能覆蓋從工頻到10GHZ以上頻率段電路使用。 作為電子電路的防護涂層,Parylene不需另加防霉劑,本身防霉能達零級。在鹽霧實驗中,與其它涂層相比,Parylene防護的電路電阻幾乎不下降,其它涂層則都有較大的下降。很薄的Parylene涂層能提供優(yōu)異的防護性能,還有利于電路板工作熱量的消散,因此作為防護涂層 Parylene能使電路具有更高的可靠性,特別是小型高密集度電子電路的防護,Parylene更顯示出其獨到的優(yōu)勢。
電子產品由于無法有效地解決耐高溫、耐高濕、耐鹽霧等工業(yè)技術問題,在使用環(huán)境復雜的情況下,往往會造成元器件失效、設備故障,甚至完全喪失功能。
利用Parylene有機涂層的低透過性、防水性、絕緣性,應用于LED室外大屏上,使其屏幕暴露于室外起到了防潮,絕緣的效果,不管是晴天或雨天,都能使屏幕能正常工作。 用較厚的涂層才能實現防護,派瑞林涂敷是由活性的對二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合成。
作為涂層,Parylene的超薄、無孔隙、均勻、同形性好、耐腐蝕、與人體組織及血液相容等一系列優(yōu)點,使其在生物醫(yī)學領域應用廣泛,Parylene不僅提供了惰性、生物相容的隔離層,可有效防止外界的化學品、水分和體液的侵蝕,同時增加了器件表面的干潤滑性和絕緣性能。
Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝制備,由活性小分子在基材表面“生長”出完全敷形的聚合物薄膜涂層,具有其他涂層難以比擬的性能優(yōu)勢。它能涂敷到各種形狀的表面,包括這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性,是當代的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。