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發(fā)布時(shí)間:2021-05-05 05:23  

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但是曝光顯影大多用傳導(dǎo)熱來(lái)進(jìn)行的。因此,其固化是由表面向內(nèi)部逐步進(jìn)行或完成的,因而是呈梯度式的固化程度狀態(tài)。



顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關(guān)鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學(xué)顯影劑溶解,將可見的島或者窗口圖形留在硅片表面。



曝光顯影和成像柵格數(shù)之間的關(guān)系:使用柵格曝光尺進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。它們的關(guān)系如下。測(cè)試參數(shù):印刷網(wǎng):T膜厚度。-。mil預(yù)烘烤:℃,分鐘,顯影:%NaCO溫度℃顯影時(shí)間:秒


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