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潔凈室安全疏散的注意事項

由于潔凈室是密閉性很強的建筑，其安全疏散成為非常重要和突出的問題，和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置也有密切關(guān)系。一般應(yīng)注意以下幾點：1．每一生產(chǎn)層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設(shè)2個安全出口，天津?qū)嶒炇覂艋こ坦?，只有面積小于50?，人員少于5人時，可允許只設(shè)一個安全出口。2．人凈入口不應(yīng)作疏散出口。因為人凈路線往往迂回曲折，天津?qū)嶒炇覂艋こ?，一旦煙火迷漫，要求人員很快跑到室外是很困難的事。3．吹淋室不能作為一般出入通道，天津?qū)嶒炇覂艋こ虄r格，由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或自動，一旦出現(xiàn)故障，非常影響疏散，所以一般均在吹淋室設(shè)旁通門，工作人員多于5人時必須設(shè)此門。平時工作人員出潔凈室時不應(yīng)走吹淋室而應(yīng)走旁通門。

在廠房裝修過程中，首先要注意的是合理有效地劃分空間，布局是廠房裝修的首要因素，天津?qū)嶒炇覂艋こ棠募液?，一般的廠房面積較大，那么在劃分使用功能的時候還要考慮到分布以及通風(fēng)、消防通道的預(yù)留。為便于管理，廠房多明確劃分設(shè)備區(qū)與辦公區(qū)的位置，并以地面的色調(diào)為準(zhǔn)，對區(qū)域進行劃分，同時也要考慮到設(shè)備區(qū)與辦公區(qū)的空間流暢性。還應(yīng)該考慮到通風(fēng)、采光的需要。如果設(shè)備眾多的，應(yīng)該劃分好區(qū)域，做好標(biāo)識。劃分區(qū)域的標(biāo)識應(yīng)該盡量避免色彩過多，做到明朗、清晰就可以。

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。

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