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標(biāo)準(zhǔn)氣體是工業(yè)術(shù)語。 標(biāo)準(zhǔn)材料濃度均勻,穩(wěn)定性好,測量標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)確。 它們具有可重復(fù)性,保存和價值轉(zhuǎn)移的基本作用。 它們用于校準(zhǔn)物理,化學(xué),生物學(xué)和工程測量領(lǐng)域的測量儀器和測量過程。 為了評估測量方法的準(zhǔn)確性和測試實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特征值,并進行定量仲裁。
標(biāo)準(zhǔn)氣體分為二元,三元和多標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家?guī)懔私飧喔敿?xì)!
電子混合氣體和計量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點,但又有許多不同,電子混合氣體除了要保證其配制濃度的外,更需要氣體具有優(yōu)良的品質(zhì),換言之,電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線,也應(yīng)對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。
1、電子混合氣體的氣瓶處理
同其他氣體不同,對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格,高純氧氣批發(fā),否則,即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高,穩(wěn)定性再好也無法使用。
首先混合氣體的氣瓶幾何尺雨如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域,氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用,高純氧氣廠家,氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后,氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對于不同種類的混合氣在氣瓶色標(biāo)、警示標(biāo)志等方面國外已有極其詳細(xì)的標(biāo)準(zhǔn),如美國的CGA、歐盟的ISO等,我們國家在此方面仍在認(rèn)識和完善中。
2、電子混合氣體配制裝置技術(shù)要求
同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是,配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜,電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級別,材質(zhì)為316L,精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級,材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng)。
氣體鋼瓶的處理,高純氧氣裝瓶,是合格標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的重要環(huán)節(jié)之一,該環(huán)節(jié)的重要意義,現(xiàn)在表現(xiàn)的尤其明顯,同時也容易被許多的新學(xué)者忽視,目前,在標(biāo)氣生產(chǎn)過程,常用的鋼瓶按材質(zhì)分可分為:碳鋼瓶、鋁合金氣瓶。
氣瓶處理的目標(biāo)就是要確保處理后的氣瓶,益陽高純氧氣,不含有其他不希望的雜質(zhì),如H2O、O2、N2及其他金屬離子或固體顆粒物,傳統(tǒng)的氣瓶處理方法,多為加熱和抽空結(jié)合的方法,根據(jù)我們的經(jīng)驗,這種方法對一般的標(biāo)準(zhǔn)氣體氣瓶還勉強可用,但對含O2、N2“10-6”級的標(biāo)準(zhǔn)氣體就很難達到,這主要是兩方面的原因:真空泵甚至擴散泵的極限真空度有限;氣瓶的加熱溫度受其材質(zhì)。如鋁合金過高的溫度,將產(chǎn)生金屬晶格的變化,使其耐壓強度明顯下降,國內(nèi)某企業(yè)用鋁合金鋼瓶裝分子篩加熱,用來純化氣體,實際只加熱了380度,后在充裝氣體時導(dǎo)致氣瓶鼓脹變形,險些釀成事故!碳鋼瓶可以耐一定的高溫,但氣體閥門,由于其中有高分子或橡膠密封材料,加熱也受到限制,我們在去日本某氣體公司參觀時發(fā)現(xiàn),他處理碳鋼瓶時,在每只氣瓶的閥門處,都按特殊的小風(fēng)扇,其目的就是為了提高加熱溫度。
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