上海鍍膜設(shè)備-至成鍍膜設(shè)備廠家供應(yīng)-實驗室鍍膜設(shè)備

多片式比較片裝置的設(shè)計特點

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤轉(zhuǎn)動的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉(zhuǎn)動過程中軸1的剛度和撥動盤的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機構(gòu)，通過擴大支承盤的直徑，使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

4)定位盤與槽型光藕的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動撥動盤完成準(zhǔn)確的撥片動作。

5)轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)，既保證電機通過齒輪嚙合帶動軸的靈活轉(zhuǎn)動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，其特點：(1)結(jié)構(gòu)簡單，強度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；

真空鍍膜機蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能

真空鍍膜機電子束蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能分析研究，為了獲得性能良好的半導(dǎo)體電極Al膜，我們通過優(yōu)化工藝參數(shù)，制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過理論計算和性能測試，分析比較了真空鍍膜設(shè)備電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al膜的特點。

嚴格控制發(fā)Al膜的厚度是十分重要的，因為Al膜的厚度將直接影響Al膜的其它性能，從而影響半導(dǎo)體器件的可靠性。對于高反壓功率管來說，它的工作電壓高，電流大，沒有一定厚度的金屬膜會造成成單位面積Al膜上電流密度過高，易燒毀。對于一般的半導(dǎo)體器件，Al層偏薄，則膜的連續(xù)性較差，呈島狀或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，引起壓焊引線困難，造成不易壓焊或壓焊不牢，從而影響成品率;Al層過厚，引起光刻時圖形看不清，造成腐蝕困難而且易產(chǎn)生邊緣腐蝕和“連條”現(xiàn)象。

采用真空鍍膜機電子束蒸發(fā)，行星機構(gòu)在沉積薄膜時均勻轉(zhuǎn)動，各個基片在沉積Al膜時的幾率均等;行星機構(gòu)的聚焦點在坩堝蒸發(fā)源處，各個基片在一定真空度下沉積速率幾乎相等。采用真空鍍膜機磁控濺射鍍膜方法，由于沉積電流和靶電壓可以控制，也即是濺射功率可以調(diào)節(jié)并控制，因此膜厚的可控性和重復(fù)性較好，并且可在較大表面上獲得厚度均勻的膜層。

附著力反映了Al膜與基片之間的相互作用力，也是保證器件的重要因素。真空鍍膜設(shè)備濺射原子能量比蒸發(fā)原子能量高1-2個數(shù)量級。真空鍍膜機高能量的濺射原子沉積在基片上進行的能量轉(zhuǎn)換比蒸發(fā)原子高得多，產(chǎn)生較高的熱能，部分高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象，在基片上形成一層濺射原子與基片原了相互溶合的偽擴散層，而且，在真空鍍膜設(shè)備成膜過程中基片始終在等離子區(qū)中被清洗，清除了附著力不強的濺射原子，凈化基片表面，增強了濺射原子與基片的附著力，因而濺射Al膜與基片的附著力較高。

真空鍍膜機為塑料件鍍膜時抽真空時間長的原因

真空鍍膜機是在真空室中利用電阻加熱法，將緊貼在電阻絲上的金屬絲熔融汽化，汽化了的金屬分子沉積于基片上，而獲得光滑反射率的膜層，達到裝飾美化物品表面的目的。獲得價廉物美的塑料件表面裝飾的理想設(shè)備，任意底色的塑料經(jīng)車燈鍍膜機后皆可鍍成金屬薄膜、七彩膜、仿金膜等，具有提高產(chǎn)品檔次、外觀更顯華貴作用。廣泛應(yīng)用于塑料（ABS、APS、PU、PS、PP、PVC、PC）、尼龍、陶瓷、樹脂、玻璃等材料的玩具、飾物、工藝品、手機殼、電子產(chǎn)品、燈飾配件、化妝包裝等行業(yè)。

真空鍍膜機鍍塑料時抽真空時間過長主要原因就是塑料產(chǎn)品的放氣量太大或真空室有漏氣現(xiàn)象：

1、真空室有漏氣現(xiàn)象：大家都知道，多弧離子鍍膜機是的基本條件是工件在真空狀態(tài)下才能進行鍍膜加工的，若真空室有漏氣現(xiàn)象而沒有經(jīng)過檢漏找出漏氣位置，則真空鍍很長時間都不能抽得上來的；

2、即使真空室沒有漏氣，因為塑料產(chǎn)品的放氣量大，所以抽真空，濺控濺射鍍膜機特別是高真空很難達到。而且由于塑料產(chǎn)品的放氣，造成真空室內(nèi)鍍膜氣體的不純，有雜氣的存在，造成鍍膜產(chǎn)品的顏色發(fā)暗，發(fā)黃，發(fā)黑等。