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真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近半個(gè)世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對(duì)人類社會(huì)起了很大的推動(dòng)作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對(duì)科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過(guò)程都與真空技術(shù)有關(guān)。

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國(guó)家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過(guò)了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國(guó)民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機(jī)復(fù)合信息存儲(chǔ)薄膜研究取得的成果說(shuō)明真空技術(shù)在未來(lái)的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測(cè)量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來(lái)信息社會(huì)的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開(kāi)發(fā)。在即將到來(lái)的21世紀(jì)，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進(jìn)入信息社會(huì)的各個(gè)領(lǐng)域，發(fā)揮越來(lái)越大的作用。

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手機(jī)行業(yè)的PVD真空泵維修技術(shù)

PVD鍍膜能夠鍍出的膜層種類,PVD鍍膜技術(shù)是一種能夠真正獲得微米級(jí)鍍層且無(wú)污染的環(huán)保型表面處理方法，它能夠制備各種單一金屬膜(如鋁、鈦、鋯、鉻等),氮化物膜(TiN、ZrN、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。

PVD鍍膜膜層的厚度—PVD鍍膜膜層的厚度為微米級(jí)，厚度較薄，一般為0.3μm～5μm，其中裝飾鍍膜膜層的厚度一般為0.3μm～1μm，因此可以在幾乎不影響工件原來(lái)尺寸的情況下提高工件表面的各種物理性能和化學(xué)性能，鍍后不須再加工。

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