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手機行業(yè)的PVD真空泵維修技術

PVD的意思是“物理氣相沉積”，是指在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術。

PVD鍍膜和PVD真空泵維修

PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術主要分為三類，真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。對應于PVD技術的三個分類，相應的真空鍍膜設備也就有真空蒸發(fā)鍍膜機、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機這三種。近十多年來，真空離子鍍膜技術的發(fā)展是快的，它已經(jīng)成為當今先進的表面處理方式之一。我們通常所說的PVD鍍膜，指的就是真空離子鍍膜;通常所說的PVD真空泵維修，指的也就是真空離子鍍膜機。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機復合信息存儲薄膜研究取得的成果說明真空技術在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術已經(jīng)成熟，但更廣泛的應用，

特別是為發(fā)展未來信息社會的關鍵技術一納米電子器件中，真空技術的應用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來的21世紀，真空技術將隨著納米電子學進入信息社會的各個領域，發(fā)揮越來越大的作用。

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真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

早用于廣播、通信和雷達的電子器件是真空電子管,主要是控制由陰極發(fā)射到真空中的自由電子,用于信號的振蕩、調(diào)制、發(fā)射、檢測、放大、存儲和加工.電子管器件的制造,要求真空衛(wèi)生和真空純潔,微電子器件的產(chǎn)生是建立在高純鍺、硅材料的基礎上的，在材料和器件加工過程中，要求保持比高純還好的半導體純和高度有序的晶體結構。

而微電子器件的下一代的納米電子器件，要求所用材料和組裝加工過程應該好于半導體純，更少的雜質和缺陷，更完善的晶體結構，所以在研究納米電子器件時，將更多地采用高真空，甚至超高真空進行材料制備和器件組裝。

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