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真空泵維修薄膜加工中的應(yīng)用

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前沿。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空泵維修科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

微電子器件的發(fā)展,將推動(dòng)人類社會(huì)更快地進(jìn)步。微電子器件的發(fā)展趨勢是大規(guī)模集成電路,集成度越來越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來越小。其規(guī)律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個(gè)月同樣大小芯片上的元件數(shù)增加一倍。過去20年是這樣,電子學(xué)家預(yù)言,未來的15年仍是這樣。

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真空泵維修方法制備有機(jī)功能薄膜的技術(shù)

莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規(guī)模集成電路進(jìn)行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發(fā)表的特殊報(bào)告講到的關(guān)于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存儲(chǔ)密度106bit／cm2，可存下一篇30頁;108bit／cm2,能存300頁的書10本;1010bit／cm2,存1000本書;1012bit／cm2,存10萬本書,對于一塊3.5＂磁盤可存入500萬本書是可能的。這幾乎是我國目前省級(jí)圖書館的全部藏書。由這個(gè)估算可見存儲(chǔ)密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應(yīng)該考慮到量變到質(zhì)變產(chǎn)生的功能飛躍。

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手機(jī)行業(yè)的PVD真空泵維修技術(shù)

PVD的意思是“物理氣相沉積”，是指在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)。

PVD鍍膜和PVD真空泵維修

PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類，真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。對應(yīng)于PVD技術(shù)的三個(gè)分類，相應(yīng)的真空鍍膜設(shè)備也就有真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空濺射鍍膜機(jī)和真空離子鍍膜機(jī)這三種。近十多年來，真空離子鍍膜技術(shù)的發(fā)展是快的，它已經(jīng)成為當(dāng)今先進(jìn)的表面處理方式之一。我們通常所說的PVD鍍膜，指的就是真空離子鍍膜;通常所說的PVD真空泵維修，指的也就是真空離子鍍膜機(jī)。

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