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射頻濺射
采用射頻電源代替直流電源,在靶和襯底間施加高頻電壓,濺射時(shí),靶極會(huì)產(chǎn)生自偏壓效應(yīng)(即靶極會(huì)自動(dòng)處于負(fù)電位狀態(tài)),使絕緣靶的濺射得到維持。常用的頻率約為13.56兆赫。
優(yōu)點(diǎn)可以濺射所有材料,包括導(dǎo)體和絕緣體濺射可大規(guī)模生產(chǎn)
磁控濺射
磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入正交電磁場(chǎng),許昌鍍鈦廠家公司,把二次電子束縛在靶表面,成螺旋狀運(yùn)行來(lái)增強(qiáng)電離效率,增加離子密度和能量以增加濺射率。電源方面可同時(shí)配備直流和射頻兩種。
涂層種類(lèi)選擇
1)氮化鈦涂層(TiN)
TiN是一種通用的涂層,真空鍍鈦廠家公司,可以提高刀具硬度并具有較高的氧化溫度。
用途:高速鋼切削工具,慢速加工工具(如低速車(chē)刀粒),耐磨零件,處理鍍鈦廠家公司,注塑
模具。
2)氮碳化鈦涂層 (TiCN)
TiCN涂層是在TiN的基礎(chǔ)上添加碳元素,以提高涂層的硬度和低的摩擦系數(shù)。
用途:高速具,沖壓模具,成型模具
3)氮鋁鈦(TiAlN)、 氮鈦鋁AlTiN
俗稱(chēng):中鋁(Al:Ti=50:50)、高鋁(Al:Ti=67:33)以上,
TiAlN/AlTiN涂層在加工過(guò)程中形成的氧化鋁涂層可以有效提高加工工具的高溫加工壽命,AlTiN涂層的抗高溫氧化比TiAlN要高100度左右。
企業(yè): 商丘金常來(lái)金屬制品有限公司
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