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真空鍍膜機(jī)的真空室設(shè)計(jì)方法
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對(duì)真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。
使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空,因氣袋會(huì)緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會(huì)加裝磁控濺射,為了使真空室和元件有足夠的強(qiáng)度,保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,厚度需要足夠。
焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,保證焊接之后的真空室不會(huì)產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu),提高焊接質(zhì)量,處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。
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真空鍍膜系統(tǒng)
真空鍍膜在日常生活中非常常見,就是一個(gè)真空系統(tǒng)也比較復(fù)雜,真空鍍膜公司,現(xiàn)在,我們一起去探索一下真空鍍膜的設(shè)備秘密吧。
真空鍍膜設(shè)備不是單一的設(shè)備,而是設(shè)備組,它是由真空系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng),蒸發(fā)輔助系統(tǒng),加熱系統(tǒng),整機(jī)的電氣與自動(dòng)化控制系統(tǒng)共同構(gòu)成,今天,我們主要討論的是真空鍍膜設(shè)備中的真空系統(tǒng)。真空泵油霧過濾器也被運(yùn)用在真空系統(tǒng)當(dāng)中,使得真空鍍膜工藝排放無污染,節(jié)能環(huán)保。
真空鍍膜系統(tǒng)
真空室
涂層設(shè)備主要有連續(xù)涂層生產(chǎn)線及單室涂層機(jī)兩種形式,不銹鋼材料制造、弧焊接、表面進(jìn)行化學(xué)拋光處理,真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口。
真空獲得部分
在真空技術(shù)中,真空獲得部分是重要組成部分。真空的獲得不是一種真空設(shè)備和方法所能達(dá)到的,必須將幾種泵聯(lián)合使用,如機(jī)械泵、羅茨泵、分子泵系統(tǒng)等。
真空測(cè)量部分
真空系統(tǒng)的真空測(cè)量部分,就是要對(duì)真空室內(nèi)的壓強(qiáng)進(jìn)行測(cè)量。像真空泵一樣,沒有一種真空計(jì)能測(cè)量整個(gè)真空范圍,人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計(jì)。如熱偶計(jì),電離計(jì),皮拉尼計(jì)等。
電源供給部分
靶電源主要有直流電源、中頻電源、脈沖電源、射頻電源(RF),常見的電源廠商有AE,ADL,霍廷格等。
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