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真空腔體
真空腔體真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對(duì)于大氣壓來(lái)說(shuō)的,并非空間沒(méi)有物質(zhì)存在.
真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,開(kāi)始反映的是空無(wú)一物的狀態(tài).即真空并不是無(wú)物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對(duì)外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海,不斷振蕩并且充滿(mǎn)著巨大能量.
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真空腔體真空概念
真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,反映的是空無(wú)一物的狀態(tài).在二十世紀(jì)的時(shí)候狄拉克提出了真空的概念,即真空并不是無(wú)物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對(duì)外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海,不斷振蕩并且充滿(mǎn)著巨大能量.
真空的屬性確實(shí)是需要用空間來(lái)描述,但只是種數(shù)學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說(shuō)真空的性質(zhì)取決于空間.
真空技術(shù)是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理測(cè)量等所需要的技術(shù).
用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在.
氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.
影響真空絕緣水平的主要因素
真空度
顯現(xiàn)了空隙擊穿電壓和氣體壓強(qiáng)之間的關(guān)系。由圖可以看到真空度高于10-2Pa時(shí),擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大,因?yàn)闅怏w分子碰撞游離現(xiàn)象已不復(fù)興效果。當(dāng)氣體壓力從10-2Pa逐步升高時(shí)(真空度下降),擊穿強(qiáng)度逐步下降,以后又隨氣壓的而。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時(shí)其耐壓強(qiáng)度基本上堅(jiān)持不變。這就標(biāo)明,真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時(shí)完全可以滿(mǎn)足正常的運(yùn)用需求。影響真空絕緣水平的主要因素電極資料真空開(kāi)關(guān)作業(yè)在10-2Pa以上的高真空,因?yàn)榇丝虤怏w分子十分稀疏,氣體分子的碰撞游離對(duì)擊穿已經(jīng)不起效果,因而擊穿電壓表現(xiàn)出和電極資料有較強(qiáng)的相關(guān)性。
真空腔體制造技術(shù)
基板指的是一個(gè)大的法蘭適配器,可以把一個(gè)位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€(gè)位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統(tǒng)。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu),一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學(xué)制品或其他液體的除氣設(shè)備。
輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個(gè)真空密封件,可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個(gè)部件的功能。
鐘形罩由圓柱形的主體和一個(gè)半球形或球形的端口組成??蛇x材料包括玻璃、金屬和塑料。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩的直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。