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無(wú)塵室/無(wú)塵車間/凈化車間/潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)
1、壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度,必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi),要達(dá)到這個(gè)目的,房間里必須保持正壓,為了獲得所要求的房間壓力,必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。
2、輔助設(shè)備
必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備:如新風(fēng)口的空氣指示儀,隔斷上的傳遞窗等,這些設(shè)備必須適合房間的要求,并且必須真正了解其功能。
3、人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源,因此必須充分控制,例如:在進(jìn)入凈化房前,所有的人都要經(jīng)過(guò)人凈系統(tǒng),更換無(wú)塵衣,并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。
4、給排水和送風(fēng)裝置及電源
根據(jù)所要運(yùn)行的車間,提供必須的給排水裝置,送風(fēng)裝置和電源,這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì),同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng),
實(shí)力公司用案例說(shuō)話,全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車間、廠房工程眾多,免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì),可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察
凈化無(wú)塵車間施工的特點(diǎn)
一、潔凈室內(nèi)的污染源:
潔凈室內(nèi)的污染源主要來(lái)自四個(gè)方面:
1、大氣中含塵、含菌、凈化系統(tǒng)中新風(fēng)帶入的塵粒和微生物;
2、作業(yè)人員發(fā)塵;
3、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵。
二、凈化參數(shù)(一般要求)
換氣次數(shù):100000萬(wàn)級(jí)≥15次;10000級(jí)≥25次;1000級(jí)≥50次。
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)(斷面風(fēng)速)0.3-0.5 m/s;
溫度:冬季>16 ℃ 夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。
相對(duì)濕度宜45-65%;
噪聲≤65dB(A);
照度≥200LX
無(wú)塵車間的節(jié)能原則
無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計(jì)和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。
在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中,電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó),電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。5MM,不同的防靜電環(huán)境需求選用不同的規(guī)格,按甲方設(shè)計(jì)需求施工。據(jù)調(diào)查,世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè),一個(gè)單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機(jī)。
潔凈技術(shù)對(duì)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對(duì)直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因?yàn)樗鼈兡芤鸾饘賹又g的短路。