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千級(jí)無塵車間的濕度要求是多少?
千級(jí)無塵車間的濕度要求是55±5%
無塵車間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點(diǎn):對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級(jí)過濾器;中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
PCB廠內(nèi)層無塵室里的濕度潔凈是多少
相對(duì)濕度是潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)──或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
這些年里,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,使我們必需承擔(dān)資金和營運(yùn)費(fèi)用。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在潔凈室中控制相對(duì)濕度呢?
道理很簡單!因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括:
細(xì)菌生長;
工作人員感到室溫舒適的范圍;
出現(xiàn)靜電荷;
金屬腐蝕;
水汽冷凝;
光刻的退化;
吸水性。
細(xì)菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí),可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最1、低。
相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過 50%時(shí),靜電荷開始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時(shí)間。
相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
很多化學(xué)反應(yīng)的速度,包括腐蝕過程,將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是,一些金屬,例如鋁,可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物,并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有保護(hù)能力的,因此,在高濕度的環(huán)境中,銅制表面更容易受到腐蝕。
在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中,濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵,可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)──凱爾文濃縮──當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要,但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí),就成為顆粒之間黏附的主要力量。
到目前為止,在半導(dǎo)體潔凈室中最迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性,它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的。
實(shí)際上,相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精1、確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下,光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然,改變粘性,就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。參考兩個(gè)城市,一個(gè)試驗(yàn)證實(shí),相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2 A 。
此外,在高的相對(duì)濕度環(huán)境下,由于水分的吸收,使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對(duì)濕度的負(fù)面影響;較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易,甚至不需要聚合改性劑,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。
在半導(dǎo)體潔凈室中控制相對(duì)濕度不是隨意的。但是,隨著時(shí)間的變化,最、1好回顧一下常見的被普遍接受的實(shí)踐的原因和基礎(chǔ)。
以下是幾點(diǎn)注意事項(xiàng):
1、首先要確定自己將購買的混合機(jī)制藥機(jī)械要用以制造哪些產(chǎn)品。有的制藥機(jī)械廠家產(chǎn)品品種很多,在購買制藥機(jī)械時(shí),希望一臺(tái)設(shè)備能夠包裝自己的所有品種。其實(shí)往往專用機(jī)比兼容機(jī)的包裝效果要更好。一臺(tái)制藥機(jī)械包裝的品種最、1好不要超過3-5個(gè)品種。還有,外形尺寸差距比較大的產(chǎn)品盡可能分開機(jī)器包裝。
2、高性價(jià)比是第、1一原則。目前國內(nèi)生產(chǎn)的制藥機(jī)械質(zhì)量比以前有了很大的提高,特別是枕式制藥機(jī)械,出口比重已經(jīng)出進(jìn)口很多,所以以國產(chǎn)機(jī)的價(jià)格完全可以購買到進(jìn)口機(jī)的質(zhì)量。迅捷制藥機(jī)械公司的枕式制藥機(jī)械。只買對(duì)的,不買貴的。