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凈化車間FFU控制方式的選擇

多檔開關(guān)控制系統(tǒng)：此系統(tǒng)只包括FFU自帶的一個(gè)調(diào)速開關(guān)和一個(gè)電源開關(guān)。由于控制元件為FFU自帶，分布在潔凈室吊頂內(nèi)的各個(gè)位置，工作人員必須在現(xiàn)場(chǎng)通過撥擋開關(guān)來調(diào)節(jié)FFU，控制起來極不方便，而且FFU的風(fēng)速可調(diào)范圍有限，于幾檔。采用多檔開關(guān)控制方式優(yōu)點(diǎn)是控制簡(jiǎn)單、成本低，但存在許多缺陷，比如能耗大、不能平滑調(diào)速、沒有反饋信號(hào)、不能實(shí)現(xiàn)靈活的組群1控制等。

無塵車間

萬級(jí)無塵車間：萬級(jí)潔凈室凈化工程用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬級(jí)潔凈室凈化工程在醫(yī)工業(yè)中也很常用。十萬級(jí)無塵車間：十萬級(jí)潔凈室凈化工程用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)1藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)潔凈室凈化工程。

凈化車間門窗上的縫隙分為固定縫隙和活動(dòng)縫隙。性質(zhì)不同在凈化車間門、窗上所占比例也不同。凈化車間門、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說，凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。一類是樘的組合拼接和樘與凈化車間門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車間門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時(shí)，對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。