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進行顯影的方式有很多種,廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過漂洗,之后再烘干。
產(chǎn)生影像的過程稱為顯影。顯影是在印刷、影印、復(fù)印、曬圖等行業(yè)中,讓影像顯現(xiàn)的一個過程。曝光顯影工藝流程中拋光工序風(fēng)輪加青蠟會出現(xiàn)鏡面拋不透,發(fā)白現(xiàn)象。
技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種曝光顯影的方法,該曝光顯影的方法可以解決鏡面拋光不透發(fā)白等問題。
通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻,指通過曝光zhidao版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學(xué)溶液1653,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
蝕刻,通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻,指通過曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學(xué)溶液,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。