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光刻膠趨勢
半導體光刻膠領(lǐng)域全球市場規(guī)模趨于穩(wěn)定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內(nèi)市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內(nèi)承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,預計全球光刻膠市場將保持穩(wěn)定增速,國內(nèi)市占率穩(wěn)步抬升。
光刻膠生產(chǎn)、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業(yè)通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發(fā)和技術(shù)服務上取得競爭優(yōu)勢,需要足夠的中后期資金支持?!凹偃缥覀儼压饪虣C比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴。企業(yè)持續(xù)發(fā)展也需投入較大的資金,光刻膠行業(yè)在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內(nèi)廠商,其公司規(guī)模更大,具有資金和技術(shù)優(yōu)勢。
總體上,光刻膠行業(yè)得到國家層面上的政策支持。近些年來,全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》,提出“研發(fā)光刻機、刻蝕機、離子注入機等關(guān)鍵設備,開發(fā)光刻膠、大尺英寸硅片等關(guān)鍵材料”;國家重點支持的高新技術(shù)領(lǐng)域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發(fā)展的新材料技術(shù)”;光刻技術(shù)(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領(lǐng)域。
NR9-3000PYPR1 2000A1光刻膠報價
五、曝光
在這一步中,將使用特定波長的光對覆蓋襯底的光刻膠進行選擇性地照射。預計G線正膠今后將占據(jù)50%以上市場份額,I線正膠將占據(jù)40%左右的市場份額,DUV等其他光刻膠約占10%市場份額,給予北京科華、蘇州瑞紅等國內(nèi)公司及美國futurrex的光刻膠較大市場機會。光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學反應,從而使正光刻膠被照射區(qū)域(感光區(qū)域)、負光刻膠未被照射的區(qū)域(非感光區(qū))化學成分發(fā)生變化。這些化學成分發(fā)生變化的區(qū)域,在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。
在接受光照后,正性光刻膠中的感光劑DQ會發(fā)生光化學反應,變?yōu)橐蚁┩?,并進一步水解為茚并羧酸(Indene-Carboxylic-Acid, CA),羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍,產(chǎn)生的羧酸同時還會促進酚醛樹脂的溶解。隨著光刻分辨力的提高,對準精度要求也越來越高,例如針對45am線寬尺寸,對準精度要求在5am左右。利用感光與未感光光刻膠對堿性溶劑的不同溶解度,就可以進行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。
曝光方法:
a、接觸式曝光(Contact Printing)掩膜板直接與光刻膠層接觸。
b、接近式曝光(Proximity Printing)掩膜板與光刻膠層的略微分開,大約為10~50μm。
c、投影式曝光(Projection Printing)。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實現(xiàn)曝光。
d、步進式曝光(Stepper)
NR77-25000P,RD8
品牌
產(chǎn)地
型號
厚度
曝光
應用
加工
特性
Futurrex
美國
NR71-1000PY
0.7μm~2.1μm
高溫耐受
用于i線曝光的負膠
LEDOLED、
顯示器、
MEMS、
封裝、
生物芯片等
金屬和介電
質(zhì)上圖案化,
不必使用RIE
加工器件的永
組成
(OLED顯示
器上的間隔
區(qū))凸點、
互連、空中
連接微通道
顯影時形成光刻膠倒
梯形結(jié)構(gòu)
厚度范圍:
0.5~20.0 μm
i、g和h線曝光波長
對生產(chǎn)效率的影響:
金屬和介電質(zhì)圖案化
時省去干法刻蝕加工
不需要雙層膠技術(shù)
NR71-1500PY
1.3μm~3.1μm
NR71-3000PY
2.8μm~6.3μm
NR71-6000PY
5.7μm~12.2μm
NR9-100PY
粘度增強
NR9-1500PY
NR9-3000PY
2.8μm~6.3μm
NR9-6000PY
NR71G-1000PY
負膠對 g、h線波長的靈敏度
NR71G-1500PY
NR71G-3000PY
NR71G-6000PY
NR9G-100PY
0.7μm~2.1μm
NR9G-1500PY
1.3μm~3.1μm
NR9G-3000PY
NR9G-6000PY
耐熱溫度
PR1-500A
0.4μm~0.9μm
光刻膠
PCB
光刻膠
主要分為干膜光刻膠、濕膜光刻膠(又稱為抗蝕刻/線路油墨)、光成像阻焊油墨等。PCB 光刻膠技術(shù)壁壘相對較低,主要是中低端產(chǎn)品。
LCD
包含彩色濾光片用彩色光刻膠及黑色光刻膠、LCD 觸摸屏用光刻膠、TFT-LCD 正性光刻膠等產(chǎn)品。
彩色濾光片是LCD
實現(xiàn)彩色顯示的關(guān)鍵器件,占面板成本的14%~16%;在彩色濾光片中,彩色光刻膠和黑色光刻膠是核心材料,占其成本的27%左右,其中黑色光刻膠占彩色濾光片材料成本的6%~8%。
半導體光刻膠
包括g 線光刻膠、i 線光刻膠、KrF 光刻膠、ArF 光刻膠、聚酰YA光刻膠、掩膜板光刻膠等。