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電子束簡介
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電子經(jīng)過匯集成束。具有高能量密度。它是利用電子槍中陰極所產(chǎn)生的電子在陰陽極間的高壓(25-300kV)加速電場作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),經(jīng)透鏡會聚作用后,形成密集的高速電子流。
電子束【釋義】:又稱電子注。在真空匯集成束。可采用靜電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。
電子束蒸發(fā)鍍膜機的技術特點
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1、樣品臺:水冷樣品座,樣品座高度可調(diào),便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍:樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.
2、電子槍:電子槍功率6kW可調(diào)(滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā))4穴水冷坩堝(適用于對多種材料進行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應用效果好)。超高真空密封主要采用如下技術:玻璃金屬焊接技術、陶瓷金屬焊接技術、刀口無氧銅金屬密封技術等,整機主要采用金屬密封技術,前開門用氟膠圈,真空管路用不銹鋼金屬波紋管路(不用橡膠管路),采用高真空閥門。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性,配制高品質(zhì)束流掃描控制器,具有多種供控制程序進行選擇的預設模式,方便于操作、實驗數(shù)據(jù)積累。配套相應蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復性.
電子束鍍膜機的特點/用途介紹
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產(chǎn)品特點/用途:
?設備一體化設計,占地面積小,性能穩(wěn)定,性價比高,使用維護成本低;
?適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;
?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。