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凈化車間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施?
凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,shou選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。冷卻塔安裝的要求:1、冷卻塔的型號(hào)、規(guī)格、技術(shù)參數(shù)必須符合設(shè)計(jì)要求,安裝的地點(diǎn)、相關(guān)位置、尺寸均應(yīng)符合施工圖?!穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
高1效達(dá)風(fēng)口與FFU的制作一般是板材有冷軋鋼板(A3板)、鍍鋅板與不銹鋼板(SUS201,SUS304等),厚度一般為0.8-1.5mm。
兩者的過濾單元構(gòu)造區(qū)別
1、FFU層流罩是由送風(fēng)箱體,法蘭,導(dǎo)風(fēng)板,風(fēng)機(jī),高1效過濾器組成的,是帶動(dòng)力裝置的凈化設(shè)備,可以單獨(dú)或連接風(fēng)管使用。
2、高1效送風(fēng)口是無動(dòng)力裝置,需要配置風(fēng)管使用。
3、高1效送風(fēng)口中的四件套包括,高1效送風(fēng)口靜壓箱體,法蘭,高1效過濾器以及出風(fēng)口散流板。
四、FFU層流罩的特點(diǎn)分析
1、FFU箱體由冷軋鋼板噴塑或不銹鋼制成,結(jié)構(gòu)精巧,堅(jiān)固。
2、設(shè)備采用直驅(qū)式高1效離心風(fēng)機(jī),使用壽命長(zhǎng),噪音小,震動(dòng)小,免于維護(hù)。
3、設(shè)備適合組裝成超凈生產(chǎn)線,可以根據(jù)工藝布置為單臺(tái)使用,也可多臺(tái)串聯(lián)形成100級(jí)流水裝配線。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng),圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級(jí)耐磨塑
3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
?重污染來襲,別忽略室內(nèi)空氣
當(dāng)室外PM2.5濃度低于75微克/立方米時(shí),開窗通風(fēng)有利于室內(nèi)空氣質(zhì)量的改善,但室外PM2.5濃度高于150微克/立方米時(shí),開窗通風(fēng)則會(huì)惡化室內(nèi)空氣質(zhì)量。
北京第二次空氣重污染紅色預(yù)警將于今晚24時(shí)結(jié)束,預(yù)警期間,相關(guān)部門建議市民盡量避免戶外活動(dòng),在家“躲霾”成為不少市民的選擇。
室內(nèi)環(huán)境是否一定優(yōu)于室外?
根據(jù)今年4月份清華大學(xué)發(fā)布的一份覆蓋北京市13個(gè)區(qū)縣、7703個(gè)地理位置的室內(nèi)PM2.5污染公益調(diào)研報(bào)告顯示,室內(nèi)PM2.5污染對(duì)人的影響更顯著,PM2.5吸入量室內(nèi)占八成。這也就意味著,人們?cè)谑覂?nèi)吸入的PM2.5是室外的4倍。新繁殖的微生物及其釋放出的有害有味氣體和大量有害代謝物、尸1體和碎片——這之中有很大一部分是高1效過濾器不能阻擋的,于是就構(gòu)成了微生物二次污染。對(duì)此,該研究組負(fù)責(zé)人、清華大學(xué)電子工程系研究員張林曾介紹,室內(nèi)PM2.5的吸入量占每日總量的80%以上,主要是因?yàn)槿藗円惶飚?dāng)中有大約20小時(shí)是在室內(nèi),只有4小時(shí)在室外。
北京大學(xué)公共衛(wèi)生學(xué)院潘小川解釋,通常來說,建筑物本身的防護(hù)結(jié)構(gòu),包括墻壁、玻璃等,可以在一定程度上阻擋部分污染物質(zhì),從這個(gè)角度考慮,室內(nèi)空氣污染水平應(yīng)該比室外稍低。另一方面,建筑物防護(hù)結(jié)構(gòu)存在一定的縫隙,“密封性不是很好,隨著時(shí)間的延長(zhǎng),室外空氣中的一顆微小顆粒物,如PM2.5,就有可能得以進(jìn)入室內(nèi),導(dǎo)致室內(nèi)外空氣污染水平差距不大。當(dāng)送入凈化車間內(nèi)的空氣量適當(dāng)?shù)拇笥诨仫L(fēng)和排風(fēng)量時(shí),室內(nèi)則可維持一定的正壓值。即便如此,建筑物對(duì)阻擋一些污染物質(zhì)還是有一定功效的?!?